圧電技術の中核はに基づいています圧電効果、特定の結晶（石英、圧電セラミック、PVDFなどなど、機械的応力の下で電荷を生成するか、電界.} .}の動作下で変形を受ける現象を指します。
正の圧電効果（機械的エネルギー→電気エネルギー）
結晶が圧力や張力などの機械的応力にさらされると、内部電荷分布が変化し、等量の反対の数字が表面に生成されると、たとえば、ピエゾレクトリックセラミックシートをタップすると、{1}}.....で生成されます。
逆圧電効果（電気エネルギー→機械エネルギー）
結晶の両端に電界が適用されると、その格子構造は可逆的な変形（伸長または収縮）を受け、たとえば電界.の強度に比例して、ピエゾ電子セラミクスに交互の電圧を適用します。
1.圧電技術のアプリケーションフィールド
（1）精密駆動と位置決め（逆圧電効果）
Piezoelectric Motor：圧電材料の高周波振動を使用して、ローター回転を駆動するために、高速応答、高精度、電磁干渉の特性があり、.リソグラフィ装置の精度変位制御と半導体の製造装置の精度変位制御に一般的に使用されます{2}.
Piezoelectric Nanopositing Platform：逆ピエゾ電気効果によるナノメートル（またはサブナノメートル）変位精度を達成し、走査型トンネル顕微鏡（STM）や原子力顕微鏡（AFM）.}などの最先端の科学研究機器に適用されます。
piezoelectricスイングテーブル/ロータリーテーブル：前述のように、xinmei製品は、レーザー光学パス調整、半導体ウェーハアライメント、光学コンポーネント角キャリブレーション、およびその他のシナリオに使用され、ミクロ角度の第2レベルで正確な角度制御を実現します.
（2）センサーとエネルギー収穫（ポジティブな圧電効果）
pressressure/vibrationセンサー：圧電材料は、機械的振動または圧力を橋の振動、エンジン障害診断、血圧モニターなどを監視するために電気信号に変換できます。効果.
piezoelectric Energy Harvester：環境（車の運転、足音など）の振動エネルギーを電気エネルギーに変換し、IoTセンサーやワイヤレスチップなどの低電力デバイスに電力を供給し、「自己パワー」.}を達成する
（3）音響と超音波フィールド
ulttrasonic Transducer：逆圧力電気効果を使用して、医療超音波イメージング（B-ウルストラディング）のための高周波超音波波を生成します（金属の内部亀裂の検出）、および超音波洗浄（洗浄部品を介した洗浄効果）{3}.
Piezoelectric Speaker/Microphone：スピーカーは圧電材料を振動させることで音を生成し、マイクは音波.で圧電材料を圧縮することにより電気信号を生成します。
（4）医療およびバイオテクノロジー
piezoelectric Microfluidic Chip：圧電振動を介してマイクロチャネルの液体の流れを制御することにより、薬物スクリーニングや細胞分離などの生物学的実験に使用されます.
Piezoeleclectric骨鋸などのピエゾ電気手術器具は、高周波振動を使用して正確な切断を達成し、組織損傷を減らし、最小限の侵襲的整形外科手術に適しています.}
（5）家電とスマートデバイス
モビル電話の振動モーター：一部のハイエンド携帯電話は、従来の偏心ホイールモーター（iPhoneのタプティックエンジンなど）と比較して、より速い応答とより繊細な振動モードの特性を持つ圧電バイブレーターを使用しています.}
fingerPrint認識モジュール：圧電指紋センサーは、圧力によって引き起こされる電荷の変化を通じて指紋パターンを認識します。
2.典型的なアプリケーションケース
（1）半導体製造：リソグラフィマシンでは、ピエゾ電気ナノプラットフォームを使用してリソグラフィレンズの正確な動きを制御し、チップパターンのナノメートルレベルの暴露精度を確保する.}
（2）新しいエネルギー車両：圧電センサーを使用して、バッテリーパックの振動と圧力を監視し、バッテリーの安全性を確保します。圧電エネルギーハーベスターは、タイヤ振動エネルギーを電気エネルギーに変換してオンボード電子デバイス.
（3）航空宇宙：圧電材料は、航空機エンジン内の空気圧と温度の変化を監視する非常に信頼性の高い圧力センサーを製造するために使用されます.
3.技術的な利点と課題
（1）利点：高速応答速度（ナノ秒レベル）、高精度（ナノメートル/マイクロ角度の第2レベル）、コンパクト構造、電磁干渉なし、高温や真空などの極端な環境に適した.}
（2）課題：低出力力（増幅メカニズムを必要とする）、高駆動電圧（通常は数百ボルトから数百ボルト）、長期使用中の潜在的な疲労老化の問題は、材料の最適化（鉛ジルコン酸チタン酸ピエゾ電気セラミックPZTなど）および回路設計などを改善する必要があります。
「電気機械結合」のユニークな特性を備えた圧電技術は、従来の分野からインテリジェントな製造、量子技術、バイオメディシンなどの最先端の方向に拡張されており、マイクロナノテクノロジーの中心的なサポートの1つになります.}
